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母公司注销子公司的处理流程分为以下几步：

1. 双方拟定具体的清算方案并达成协议：清算方案需包括母公司的收益权利要求、对子公司的索赔要求、母公司拟采取的收回权利措施等内容。

2. 拟定注销子公司的章程并签署各方协议：针对母公司注销子公司的章程拟订，要求由双方协商，由双方认可，并且符合国家法律法规，以及清算和章程协商完成后，双方签订具体的协议文件，做好各方的权利义务。

3. 制定清算报表：母公司需制定一份详细的清算报表，对注销子公司的资产负债表，投资计提收益情况等一一列出并核对，以确定母公司的索赔价值。

4. 办理注销子公司的手续：在清算报表开出后，母公司需按照国家相关的注销程序，办理注销子公司的相关手续，如注销子公司的营业执照、税务登记证、社会保险登记证等，并将完成的注销证明收缴营管部门。

5. 处理实际收益或损失：子公司注销完成后，双方要按照各自的考核实现收益或损失，如有收益，则母公司有权拿取，如有损失，则母公司必须承担相应的责任。

以上就是母公司注销子公司的详细处理流程，母公司注销子公司前，应根据自身实际情况结合国家有关法律法规，作出最佳判断，以避免潜在的法律风险。

拓展知识：母公司注销子公司前，应当充分考虑两方利益，调整收益权利的分享比例，制定合理的应收账款政策，以减少风险。此外，双方还应在清算时注意保护财产，如使用银行担保等措施，以降低损失。另外，双方还应采取技术支持措施，降低清算成本，进一步提高清算效率。